中科慧仪获联合投资,加速半导体量检测国产化进程

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中科汇仪是一家专注于半导体质量检测核心模块研发和销售的科技企业。公司依托全球领先的光电计算与控制全栈技术,为市场提供高精度、高效率的解决方案。致力于打破国外技术垄断,加速半导体产业国产化进程。公司团队成员在光学检测领域拥有多年的从业经验,对行业有着深刻而独特的理解,这是公司快速发展并在行业中占据一席之地的基础。

聚焦终端场景,定义行业标杆

半导体质量检测设备是集成电路制造过程中不可缺少的组成部分,贯穿于集成电路领域生产过程的各个环节。它们在芯片设计、生产、封装和测试的各个环节发挥着关键作用,保证了半导体器件的质量和性能。

中科慧仪获联合投资,加速半导体量检测国产化进程插图

无图案/图案晶圆

中科汇易自成立以来,深耕半导体领域,聚焦关键行业场景需求,以技术创新推动应用升级。公司主要产品有:

显微自动对焦系统:广泛应用于晶圆图案/非图案检测、第三代化合物半导体检测、临界尺寸测量、面板微裂纹检测等场景;

全系列干涉物镜:全系列产品均自主研发生产,突破国外技术垄断;超高分辨率振镜相机:集高速扫描和超高分辨率于一体,最高分辨率可达16亿;

宽视场在线干涉仪:220ms内完成超大视场纳米级三维重构,可应用于半导体在线测量场景。

自主创新开创国产替代新格局

目前,全球半导体量产/测试设备市场处于寡头垄断局面,市场集中度较高,美国、日本和欧洲技术相对先进。中国半导体生产/测试设备行业整体国产化率的提升仍处于起步阶段。目前,国内半导体厂商所使用的半导体生产/测试设备仍主要依赖进口。

中科慧仪公司生产的检测模组覆盖泛半导体领域的主流应用。模块化设计,让客户可以根据需求自由选择搭配,大大缩短部署时间;公司出货的检测模块核心指标行业领先,参数对标国际主流品牌产品;并创新自主研发了业界唯一的超高分辨率超大视场振镜相机​​和业界首款双模对焦产品,实现毫秒级自动对焦和亚毫秒级快速目标识别与跟踪拍摄。作为行业创新驱动者,中科汇易始终坚持“聚焦终端场景、聚焦高附加值产品”的发展战略,以客户需求为导向,不断深化产品研发和市场布局。

中科慧仪获联合投资,加速半导体量检测国产化进程插图1

中科汇易公司部分产品图解

全球领先的半导体质检模块供应商

随着半导体技术的不断进步,对测量/检测设备的要求也越来越高,这不仅涉及精度和速度,还包括适应复杂工艺流程的能力。技术发展路径包括高精度、多功能、智能化、自动化。公司创始人兼总经理袁志超强调,“中科汇艺不仅致力于服务中国半导体产业,更希望通过不断的技术积累,为全球产业链注入新的活力。未来,中科汇艺将继续以开放的态度拥抱全球合作,坚持自主创新、产业协同发展,将有助于中国半导体从追赶走向领先,成为全球核心半导体质量检测模块的标杆企业。”

中科光荣认为,中科汇易拥有扎实的研发能力和技术基础,团队拥有丰富的产品设计和培训经验。公司生产的检测模块在参数方面均达到行业一流水平。在客户的实际使用中,公司的产品能力得到了充分的验证,并得到了客户的一致认可。我们相信中科汇易未来能够在技术创新上不断取得突破,助力中国半导体产业的发展。

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